| 产品概述
LEXT ™ OLS5500 拥有两套光学系统:彩色成像系统 和 激光共焦系统,可用于采集颜色信息、形貌信息以及高分辨率图像
彩色成像
彩色成像光学系统通过白光LED光源和CMOS图像传感器采集信息。这使得色彩再现准确,表面特征清晰可见。
3D形貌信息和高分辨率图像
激光共焦光学系统使用 405 nm 激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获取共聚焦图像在白光干涉测量(WLI)中,高度信息是通过白光光源被物镜内的分束器分成两束后,分别从样品表面和参考镜表面反射产生的干涉条纹来获得的聚焦变化成像(FV)通过识别图像对比度最大时的 Z位置来确定高度信息
| 表面计量技术比较
LEXT™ OLS5500 的每项表面计量技术都具有独特优势, 能帮助您探索样品的形貌、纹理和精细结构。

| 表面计量技术比较